·  测量参数：R（直流电阻）、I（直流电流）、ps（表面电阻率），pv（体电阻率）。

·  测量范围：电阻1*103Ω 至 1x1015Ω；电流1pA至100uA。

·  测量速度：最快9.5ms的测量时间。

·  基本测量精度：2%。

·  4个通道，可用于多个被测件，4个通道可同时测试。

·  接触检查功能：可以检测测试夹具与器件之间的接触故障，2毫秒/点，保证可靠的测试